사파이어 감압 구조를 위한 사파이어 웨이퍼 직접 접합 방법의 기술 구현 요소

기술 구현 요소:

5. 기존 기술이 사파이어 감압 구조에서 사파이어 웨이퍼의 직접 접합을 구현하기 어려운 문제와 준비된 압력 센서의 낮은 작동 온도를 해결하기 위해, 본 발명은 사파이어 웨이퍼의 직접 접합을 제공한다. 사파이어 압력 감지 구조. 접합 방법.

6. 본 발명은 하기 기술 방식을 채택하여 실현된다: 사파이어 감압 구조를 갖는 사파이어 웨이퍼의 직접 접합 방법은 다음 단계를 포함한다: 1) 기계적 절단 또는 레이저 절단에 의해 사파이어 웨이퍼 a를 사전 슬라이스 , 사전 처방 사파이어 웨이퍼를 얻습니다. 2) 캐비티 밖으로 사파이어 웨이퍼 b를 에칭한 다음 기계적 절단 또는 레이저 절단을 사용하여 사파이어 웨이퍼 b를 처방하여 에칭을 얻고 사파이어 웨이퍼 b를 처방합니다. 3) 처방 사파이어 웨이퍼 a와 식각 및 처방 사파이어 웨이퍼 b를 rca로 순차적으로 세척하고 탈이온수로 초음파 세척한 후 진한 인산 용액으로 에칭한 후 묽은 수산층을 형성한다. 0.{12}} mol/l 농도의 황산, 탈이온수로 헹구고 친수성 전처리된 사파이어 웨이퍼 a 및 사파이어 웨이퍼 b를 얻는 단계;

4) 친수성 전처리 후 사파이어 웨이퍼 a와 사파이어 웨이퍼 b를 정렬하여 적층하고, 이를 본딩용 본더에 넣고 프리본딩된 사파이어 웨이퍼를 얻는다. 5), 미리 본딩된 사파이어 웨이퍼를 놓는다 본드된 사파이어 웨이퍼를 픽스처에 놓고 고정한 다음 본딩 장비의 진공 챔버의 가열 챔버 아래의 압력 플랫폼과 본딩의 상부 압력 플랫폼에 놓는다. 장비가 운영된다

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