나노복합체 시스템 및 나노물질 연구방법, 기술실현요소

기술 구현 요소:

5. 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 나노소재에 대한 나노가공, 물성 조절 및 현장 물성 특성화를 동시에 수행할 수 있는 나노미터 집적 시스템 및 나노소재 연구 방법을 제공하여 나노미터 통합 시스템이 기초 물리학에 미치는 영향. 법의 연구능력과 마이크로나노소자의 처리능력.

6. 상술한 기술적 문제를 해결하기 위해 본 발명이 채택하는 기술적 방안은 다음과 같다.

7. 샘플 스테이지, 프로브 어셈블리, 광학 어셈블리, 전기 어셈블리, 환경 제어 어셈블리 및 중앙 컨트롤러를 포함하는 나노 집적 시스템;

8. 프로브 어셈블리, 광학 어셈블리, 전기 어셈블리 및 환경 제어 어셈블리는 모두 샘플 스테이지에 배열됩니다.

9. 프로브 어셈블리, 광학 어셈블리, 전기 어셈블리 및 환경 제어 어셈블리는 각각 중앙 컨트롤러와 연결됩니다.

10. 상술한 기술적 문제를 해결하기 위해 본 발명이 채택한 또 다른 기술 방안은 다음과 같다.

11. 상기 나노복합체 시스템을 이용한 나노물질 연구방법에 있어서,

12. 나노 물질에 나노 가공을 수행할 때 중앙 컨트롤러는 프로브 어셈블리와 광학 어셈블리를 제어하여 나노 물질에 대한 동시 처리, 접합 처리 또는 폐루프 피드백 처리를 수행합니다.

13. 본 발명의 유익한 효과는 나노과학에 널리 존재하는 마이크로나노 구조, 광학적 특성, 전기적 특성을 이용한 것이다.

특성과 환경 간의 상호 의존성, 상호 작용 및 상호 영향의 개념, 프로브 구성 요소, 광학 구성 요소, 전기 구성 요소 및 환경 제어 구성 요소를 동일한 샘플 단계에서 결합하고 중앙 제어 시스템에 의한 나노 물질 처리 실현, 물리적 특성의 현장 조절 및 물리적 특성의 현장 특성화는 처리, 조절 및 특성화의 세 가지 기능의 조합을 실현합니다. 각 구성 요소를 함께 사용한 후 나노 물질은 광학적, 전기적, 기계적, 열적 등으로 처리될 수 있으며, 다양한 환경에서 광학 특성의 특성화, 다양한 환경에서 전기적 특성 특성화, 다양한 환경에서 물리적 및 화학적 특성의 조절이 가능합니다. 환경. 구성요소 간의 단순 중첩 효과가 향상되고 나노 집적 시스템의 기능적 다양성이 향상되며 기본 물리 법칙에 대한 나노 집적 시스템의 연구 능력 및 마이크로 나노 소자의 처리 능력이 향상됩니다.

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